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光罩服务 |
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 中芯国际光罩厂提供其代工客户和其他芯片加工厂及机构光掩膜制造服务。目前我们拥有中国最大及最先进的光掩膜制造设施，可以生产0.5微米到90纳米工艺的光掩膜。配备了先进的设备工具，中芯光罩厂运用光学趋近效应修正技术(OPC)，为客户提供二元铬版光掩膜以及相位移动光掩膜。5"x5"和6"x6"的光掩膜均可用于I-line,
G-line和深紫外线KrF及ArF步进曝光机和扫描曝光机.
内部光罩厂益处
客户使用中芯光掩膜制造服务作为其一站式服务的一部分，可以享受到如下好处：缩短从流片到芯
片制造的周期、降低光掩膜在运输过程中的损伤几率、增加服务的灵活性以及减少成本。另外，客户可以享受到便捷的在线光掩膜数据检视以及远程工作观察流片（job deck view tape-out service）服务。
光掩膜厂品质
中芯光掩膜厂实施严格的质量控制，与我们强大的技术及研发队伍紧密合作，生产出的光掩膜关键尺寸控制严格，缺失率极低。每个光掩膜的状态都会记录在光掩膜状态跟踪系统里并被严密追踪，以确保高品质光掩膜的出货。实施定期的检查，帮助我们避免和及早发现ESD损伤、划痕、颗粒、薄膜框架及老化等。
光罩厂安全措施
中芯光罩厂实行严密的安全控制来保障客户的知识产权。独立的内部网络以及专门的防火墙构筑了安全的、访问限制的光罩厂生产环境。光罩厂数据以及网络安全包括以下方面：
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独立的光罩厂内部网络，用防火墙隔离 |
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用于流片服务、被严密保护的专门FTP服务器 |
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FTP传输数据被强制性加密（PGP, GPG, Security Box）
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严密控制磁带存储访问 |
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摄相及门禁系统 |
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源文件在光掩膜出货后六个月内被删除 |
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客户及产品名称使用编号标示 |
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ISO15408(智能卡安全标准)认证 |
如需更多信息, 敬请 联系我们.
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