2016-11-15 來源：阿思達克

中芯國際與中國科學院簽MEMS研發協議與中國科學院簽MEMS研發協議公佈，與中國科學院微電子研究所簽訂MEMS研發代工平台合作協議，共同進行MEMS傳感器標準工藝開發，合作打造完整的MEMS產業鏈。

根據協議，兩者將進行深度合作，充分發揮微電子所在MEMS傳感器設計和成套工藝設計方面的優勢，以及中芯國際在標準化工藝平台、產業地位及市場影響力方面的優勢，以MEMS環境傳感器的開發為牽引，並結合其他類型MEMS傳感器結構特點，推進傳感器工藝技術的標準化、平台化和量產化，縮短從設計方案到量產產品的距離，促進MEMS產業的快速發展。